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    Titel :

    Design of an SOI-MEMS high resolution capacitive type single axis accelerometer


    Beteiligte:
    Mistry, K. K. (Autor:in) / Swamy, K. B. (Autor:in) / Sen, S. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 16 , 12 ; 2057-2066


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2010


    Format / Umfang :

    10 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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