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    Title :

    Gasphasenabscheidung kristalliner Silizium-Schichten auf Keramiksubstraten mit Normaldruck-CVD


    Contributors:

    Publication date :

    1999


    Size :

    97 S


    Remarks:

    21 cm
    Ill., graph. Darst
    Digital preservation by Technische Informationsbibliothek (TIB) / Leibniz-Informationszentrum Technik und Naturwissenschaften und Universitätsbibliothek



    Type of media :

    Theses


    Type of material :

    Print


    Language :

    German



    Classification :

    BKL:    53.56 Halbleitertechnologie / 52.78 Oberflächentechnik, Wärmebehandlung / 53.36 Energiedirektumwandler, elektrische Energiespeicher