Bipolare Mikro-Elektro-Mechanische Sensoren für den erweiterten Temperaturbereich (BiMEMS) : Abschlußbericht der Universität Kaiserslautern zum Verbundvorhaben ; Laufzeit: 01.12.2001 bis 31.12.2005
BiMEMS
2006
Online-Ressource (9 S., 331 KB)
graph. Darst.
Förderkennzeichen BMBF 16SV1481 [richtig] - 6SV1480 [falsch]. - Verbund-Nr. 01021317
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