The invention relates to a device for frictionless and lubricant-free movement in vacuum, wherein the device comprises a positionally fixed rail and a rail that can be moved relative thereto by means of magnetic force. The invention further relates to a vacuum chamber, for example for a coating installation comprising a device according to the invention.
L'invention concerne un dispositif permettant un mouvement sans frottement de glissement et sans lubrifiant, sous vide, le dispositif comprenant un rail fixe et un rail pouvant se déplacer par rapport à ce dernier au moyen d'une force magnétique. L'invention concerne en outre une chambre à vide, par exemple pour une installation de revêtement équipée d'un dispositif selon l'invention.
DEVICE AND VACUUM CHAMBER
DISPOSITIF ET CHAMBRE A VIDE
2019-04-04
Patent
Electronic Resource
English
Bakeout Chamber Within Vacuum Chamber
NTRS | 1995
|Bakeout Chamber Within Vacuum Chamber
Online Contents | 1995
Online Contents | 2003
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