Vakuumventilsystem (10) aufweisend eine Ventilsitzanordnung, die eine Ventilöffnung, einen die Ventilöffnung umlaufenden ersten Ventilsitz und einen die Ventilöffnung umlaufenden zweiten Ventilsitz aufweist, eine Verschlusskomponente (20) zum im Wesentlichen gasdichten Verschliessen der Ventilöffnung mit einer ersten Dichtfläche und einer zweiten Dichtfläche, und eine Antriebseinheit zur Bereitstellung einer Bewegung der Verschlusskomponente (20) relativ zur Ventilsitzanordnung derart, dass die Verschlusskomponente (20) von einer Offenposition in Schliessrichtung in eine Schliessposition und zurück verstellbar ist. Die Verschlusskomponente (20) hat eine erste Verschlussseite (24) mit der ersten Dichtfläche und eine zweite Verschlussseite (25) mit der zweiten Dichtfläche. Die Verschlusskomponente (20) weist einen Verschlusskörper (23) auf, der zwischen der ersten und der zweiten Verschlussseite (24,25) angeordnet ist und diese verbindet. Der Verschlusskörper (23) und die Verschlussseiten (24,25) sind derart ausgebildet, dass die Verschlusskomponente (20) zumindest eine zum Rand der Verschlusskomponente (20) hin geöffnete erste Aussparung aufweist und eine Öffnung der zumindest ersten Aussparung in die Schliessrichtung weist.
The disclosure relates to a vacuum valve system including a valve seat arrangement having a valve opening, a first valve seat surrounding the valve opening and a second valve seat surrounding the valve opening, a closure component for closure of the valve opening with a first and a second sealing surface, and a drive unit to move the closure component relative to the valve seat arrangement from an open position to a closed position and back. The closure component has a first closure side with the first sealing surface and a second closure side with the second sealing surface. The closure component has a closure body which is arranged between and connects the first and the second closure sides. The closure component has at least one first recess open towards the edge of the closure component and an opening of the at least first recess faces in the closing direction.
Vakuumventilsystem für ein Vakuum-Transportsystem
2023-08-10
Patent
Electronic Resource
German