PROBLEM TO BE SOLVED: To accurately restrain vibration.SOLUTION: Detected acceleration and estimated acceleration are inputted to a subtractor 31. The detected acceleration is detected by an acceleration sensor 23. The estimated acceleration is calculated using a counter-electromotive force generated to an actuator 15, a transfer function H from a rod part to the actuator 15, and a low-pass filter for removing a component outside a resonance frequency range of an inertia mass 14. The subtractor 31 outputs an actuator control amount obtained by subtracting the estimated acceleration from the detected acceleration. The actuator control amount is multiplied by a gain G by a voltage amplification circuit 34. The actuator 15 is controlled by a control input found by multiplying the actuator control amount by the gain G.SELECTED DRAWING: Figure 9
【課題】振動を精度よく抑制する。【解決手段】減算器31には、検出加速度と推定加速度が入力されている。検出加速度は、加速度センサ23で検出される。推定加速度は、アクチュエータ15に発生する逆起電力と、ロッド部からアクチュエータ15までの伝達関数Hと、慣性マス14の共振周波数域外の成分を除去するローパスフィルタと、を用いて算出される。減算器31では、検出加速度から推定加速度を減じることで得られるアクチュエータ制御量を出力している。アクチュエータ制御量は、電圧増幅回路34でゲインGが乗算される。アクチュエータ15は、アクチュエータ制御量にゲインGが乗算された制御入力により制御される。【選択図】図9
VIBRATION REDUCTION METHOD AND VIBRATION REDUCTION DEVICE
振動低減方法及び振動低減装置
2018-08-30
Patent
Electronic Resource
Japanese
VIBRATION REDUCTION UNIT, VIBRATION REDUCTION SUPPORT DEVICE AND VIBRATION REDUCTION METHOD
European Patent Office | 2016
|Vibration reduction device and vibration reduction method
European Patent Office | 2016
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