본 발명은, 제조 비용을 낮게 억제하면서 청정실이 오염 또는 손상되는 것을 억제할 수 있는 물품 반송 설비를 실현하고자 한 것으로서, 청정실 내를 주행하는 제1 물품 반송차와 제2 물품 반송차(2)를 구비하고, 제1 물품 반송차는, 제1 수용실과 제1 흡기부와 제1 배기부를 구비하고, 제2 물품 반송차(2)는, 제1 물품보다 먼지의 발생량이 많은 제2 물품(W2)을 수용하는 제2 수용실(51)과, 외부의 기체를 제2 수용실(51)로 흡기하는 제2 흡기부(52)와, 제2 수용실(51)의 기체를 외부로 배기하는 제2 배기부(53)를 구비하고, 제2 흡기부(52)는, 외부로부터 제2 수용실(51)을 향해 송풍하는 제2 송풍부(54)를 구비하고, 제2 배기부(53)는, 제2 수용실(51)로부터 외부를 향해 송풍하는 제3 송풍부(56)와 배기용 필터부(57)를 구비하고, 제3 송풍부(56)의 단위 시간당의 송풍량이, 제2 송풍부(54)의 단위 시간당의 송풍량보다 많다.
The present invention is intended to realize an article transport facility capable of suppressing contamination or damage to a clean room while keeping the manufacturing costs low. A first article transport vehicle and a second article transport vehicle (2) running in the clean room are provided, wherein the first article transport vehicle includes a first accommodation chamber, a first air intake part, and a first exhaust part, and the second article transport vehicle (2) has a second accommodation chamber (51) accommodating a second article (W2) with a greater amount of dust than a first article, a second air intake part (52) for the intake of external gas into the second accommodation chamber (51), and a second exhaust part (53) for the exhaust of the gas in the second accommodation chamber (51) to the outside. The second intake part (52) has a second blowing part (54) which blows air toward the second accommodation chamber (51) from the outside, the second exhaust part (53) has an exhaust filter part (57) and a third blowing part (56) for blowing the air from the second accommodation chamber (51) to the outside, and the amount of air blown per unit time of the third blowing part (56) is larger than the amount of air blown per unit time of the second blowing part (54).
ARTICLE TRANSPORT FACILITY
물품 반송 설비
2024-11-19
Patent
Electronic Resource
Korean