Provided is a substrate transport carriage capable of transporting a substrate between processing apparatuses while maintaining a wet condition of the surface of the substrate. A substrate transport carriage of an embodiment comprises: a tank 110 in which a plurality of substrates W can be stored in a water-immersed state and in a direction allowing for removal from above, the substrates W being spaced apart from each other and stacked and housed in a cassette 4; and a transport unit 120 that can travel with the tank 110 mounted thereon.
L'invention concerne un chariot de transport de substrat capable de transporter un substrat entre des appareils de traitement tout en maintenant un état humide de la surface du substrat. Un chariot de transport de substrat d'un mode de réalisation comprend : un réservoir 110 dans lequel une pluralité de substrats W peuvent être stockés dans un état immergé dans l'eau et dans une direction permettant le retrait par le dessus, les substrats W étant espacés les uns des autres et empilés et logés dans une cassette 4 ; et une unité de transport 120 qui peut se déplacer avec le réservoir 110 monté sur celle-ci.
基板の表面が濡れた状態を維持しつつ、処理装置間で基板を搬送できる基板搬送用台車を提供する。実施形態の基板搬送用台車は、カセット4に互いに隙間を空けて積層収容された複数の基板Wを、水に浸漬された状態で、且つ上部から取り出し可能な方向で収容可能なタンク110と、タンク110が搭載されて走行可能な搬送部120と、を有する。
SUBSTRATE TRANSPORT CARRIAGE
CHARIOT DE TRANSPORT DE SUBSTRAT
基板搬送用台車
2023-07-06
Patent
Electronic Resource
Japanese
IPC: | H01L Halbleiterbauelemente , SEMICONDUCTOR DEVICES / B65G TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS , Transport- oder Lagervorrichtungen, z.B. Förderer zum Laden oder Abladen / B08B Reinigen allgemein , CLEANING IN GENERAL / B62B Von Hand bewegte Fahrzeuge, z.B. Handkarren oder Kinderwagen , HAND-PROPELLED VEHICLES, e.g. HAND CARTS OR PERAMBULATORS |