Die Anwendung der optischen Interferometrie hat eine große Bedeutung in der Präzisionsmessung, insbesondere für die Längen- und Winkelmessung. Bei der Längenmessung mit Planspiegeln ist es oft von großem Interesse, neben der Verschiebung auch den Kippwinkel des Messspiegels zu kennen. In der Regel wird dazu ein zusätzliches Winkelmesssystem, z. B. ein Autokollimationsfernrohr oder ein bzw. sogar zwei (für Nick- und Gierwinkel) Winkelinterferometer benötigt. Im Beitrag soll anhand einer theoretischen Analyse nachgewiesen werden, dass bei der interferometrischen Längenmessung mit dem Ausgangssignal bestimmter Interferometer gleichzeitig auch der Winkel des Messspiegels in zwei Richtungen bestimmt werden kann. Mit dieser Methode kann eine Genauigkeit der Winkelmessung von 2'' erzielt werden.
Untersuchungen zur Gleichzeitigen Längen- und Winkelmessung mit einem Planspiegelinterferometer
tm - Technisches Messen ; 68 , 7-8 ; 319-325
2001-01-01
7 pages
Article (Journal)
German
Längenmessung , Meßtechnik , Optik , Laser
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