Gezeigt wird, dass die Inzidenzspektroskopisch-ellipsometrische Bestimmung bei verschiedenen Winkeln (VASE) eine zerstoerungsfreie, genaue Pruefmethode darstellt, die duenne Filme zu analysieren gestattet. Schichtdicken und effektive optische Konstanten in Glas/TiO2/Ag/TiO2-Schichten wurden mittels dreier Inzidenzwinkel bestimmt. Die Ag-Schichtdicken stimmten mit transmissionselektronenmikroskopischen Daten gut ueberein. Auch n- und k-Spektrencharakteristiken lassen sich an solch duennen Silberschichten mit dieser Methode gewinnen.
Also large peaks, absent in bulk silver data, were observed in the n spectra of the thin silver layers which may be due to bulk and/or surface plasmon effects. The choice of the effective medium model is critical and may require a knowledge of the shape and size of grains forming the film.
Variable angle of incidence spectroscopic ellipsometric characterization of TiO2/Ag/TiO2 optical coatings
Inzidenzspektroskopie - ellipsometrische Charakterisierung optischer TiO2/Ag/TiO2-Beschichtungen bei veraenderlichen Winkeln
Journal of Applied Physics ; 64 , 7 ; 3407-3410
1988
4 Seiten, 7 Bilder, 1 Tabelle, 13 Quellen
Article (Journal)
English
Optical and electrochemical properties of CeO2 and CeO2-TiO2 coatings
Online Contents | 1994
|The variable angle of incidence airplane
Engineering Index Backfile | 1920
Automotive engineering | 1996
|British Library Conference Proceedings | 1996
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