Gezeigt wird, dass die Inzidenzspektroskopisch-ellipsometrische Bestimmung bei verschiedenen Winkeln (VASE) eine zerstoerungsfreie, genaue Pruefmethode darstellt, die duenne Filme zu analysieren gestattet. Schichtdicken und effektive optische Konstanten in Glas/TiO2/Ag/TiO2-Schichten wurden mittels dreier Inzidenzwinkel bestimmt. Die Ag-Schichtdicken stimmten mit transmissionselektronenmikroskopischen Daten gut ueberein. Auch n- und k-Spektrencharakteristiken lassen sich an solch duennen Silberschichten mit dieser Methode gewinnen.

    Also large peaks, absent in bulk silver data, were observed in the n spectra of the thin silver layers which may be due to bulk and/or surface plasmon effects. The choice of the effective medium model is critical and may require a knowledge of the shape and size of grains forming the film.


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    Title :

    Variable angle of incidence spectroscopic ellipsometric characterization of TiO2/Ag/TiO2 optical coatings


    Additional title:

    Inzidenzspektroskopie - ellipsometrische Charakterisierung optischer TiO2/Ag/TiO2-Beschichtungen bei veraenderlichen Winkeln


    Contributors:

    Published in:

    Journal of Applied Physics ; 64 , 7 ; 3407-3410


    Publication date :

    1988


    Size :

    4 Seiten, 7 Bilder, 1 Tabelle, 13 Quellen




    Type of media :

    Article (Journal)


    Type of material :

    Print


    Language :

    English