Vorzugsweise zur verzögerungsarmen Steuerung eines aufblasbaren Luftpolsters zur Sicherung des Kraftfahrzeuglenkers bei einem Unfall wurde das MAXIMA-Projekt realisiert. Es besteht aus einem in IC-Bauweise ausgeführten 3-achsigen Beschleunigungsmesser. Anhand einer Projektskizze werden grundsätzliche Angaben zu Entwurfseinzelheiten des Sensors und der elektronischen Schaltung gegeben, sowie zur Technologie, Prototyp-Realisierung und Anwendungserprobung. Die Basistechnologie war auf den vorgegebenen (Fa.Bosch) BiCMOS-Prozeß ausgerichtet. Der Sensor bestand im wesentlichen aus mikromaschinell bearbeitetem Polysilicium und Siliciumoxid als Abdeckungsschicht. Die sensorische Wirkung beruht auf einem Differentialkondensator-Konzept. Die Detektion der Beschleunigung geschieht durch 3 voneinander unabhängige mechanische Strukturen. Mikrotechnologische Hinweise werden gegeben. Praxiserprobungen dieses Beschleunigungssensors stehen noch aus.


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    Title :

    Accelerometers for automotive applications


    Additional title:

    Beschleunigungsaufnehmer für KFZ-Anwendungen


    Contributors:


    Publication date :

    1995


    Size :

    4 Seiten, 2 Bilder


    Type of media :

    Conference paper


    Type of material :

    Print


    Language :

    English




    Accelerometers for Automotive Applications

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    Accelerometers for automotive applications

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    New Technologies for Silicon Accelerometers Enable Automotive Applications

    Pourahmadi, Farzad / Bryzek, Janusz / Petersen, Kurt et al. | SAE Technical Papers | 1992