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    Title :

    Hydrogenated amorphous silicon alloy deposition processes


    Contributors:
    Luft, Werner (author) / Tsuo, Y. Simon (author) / Tsuo, Y. S. (author)


    Publication date :

    1993


    Size :

    XIV, 327 S.


    Remarks:

    graph. Darst.
    Literaturverz. S. 243 - 316
    Digital preservation by Technische Informationsbibliothek (TIB) / Leibniz-Informationszentrum Technik und Naturwissenschaften und Universitätsbibliothek



    Type of media :

    Book


    Type of material :

    Print


    Language :

    English



    Classification :

    BKL:    53.56 Halbleitertechnologie / 33.72 Halbleiterphysik / 52.56 Regenerative Energieformen, alternative Energieformen / 53.09 Werkstoffe der Elektrotechnik / 53.36 Energiedirektumwandler, elektrische Energiespeicher
    Local classification TIB:    elt 602 / elt 130 / elt 603
    RVK:    UP 7580
    DDC:    621.38152 / 621.3815/2