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    Title :

    [Verbundprojekt: Methoden- und Werkzeugentwicklung für den Mikrosystementwurf (Mst-Mw) : Teilvorhaben: Praktischer Mikrosystementwurf ; Arbeitspaket 2.5 ; Laufzeit des Vorhabens: 01.04.93 - 31.12.96 ; Abschlußbericht]



    Publication date :

    1997


    Size :

    [64] S. in getr. Zählung


    Remarks:

    graph. Darst
    Förderkennzeichen BMFT/BMBF 13MV0194. - Verbund-Nr.: 52400060
    Digital preservation by Technische Informationsbibliothek (TIB) / Leibniz-Informationszentrum Technik und Naturwissenschaften und Universitätsbibliothek


    Type of media :

    Report


    Type of material :

    Print


    Language :

    German