[Verbundprojekt: Methoden- und Werkzeugentwicklung für den Mikrosystementwurf (Mst-Mw) : Teilvorhaben: Praktischer Mikrosystementwurf ; Arbeitspaket 2.5 ; Laufzeit des Vorhabens: 01.04.93 - 31.12.96 ; Abschlußbericht]
1997
[64] S. in getr. Zählung
graph. Darst
Förderkennzeichen BMFT/BMBF 13MV0194. - Verbund-Nr.: 52400060
Langzeitarchivierung durch Technische Informationsbibliothek (TIB) / Leibniz-Informationszentrum Technik und Naturwissenschaften und Universitätsbibliothek
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