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    Titel :

    [Verbundprojekt: Methoden- und Werkzeugentwicklung für den Mikrosystementwurf (Mst-Mw) : Teilvorhaben: Praktischer Mikrosystementwurf ; Arbeitspaket 2.5 ; Laufzeit des Vorhabens: 01.04.93 - 31.12.96 ; Abschlußbericht]



    Erscheinungsdatum :

    1997


    Format / Umfang :

    [64] S. in getr. Zählung


    Anmerkungen:

    graph. Darst
    Förderkennzeichen BMFT/BMBF 13MV0194. - Verbund-Nr.: 52400060
    Langzeitarchivierung durch Technische Informationsbibliothek (TIB) / Leibniz-Informationszentrum Technik und Naturwissenschaften und Universitätsbibliothek


    Medientyp :

    Report


    Format :

    Print


    Sprache :

    Deutsch