보관 시스템 및 보관 시스템을 작동시키기 위한 방법이 개시된다. 상기 보관 시스템은 가공될 기판을 로딩하고 언로딩하는데 사용되는 장비의 높이보다 더 높은 위치에 배치되는 보관 시스템 어셈블리를 포함한다. 상기 보관 시스템은 기판의 하나 이상의 컨테이너를 국부적으로 보관한다. 상기 보관 시스템 어셈블리는 복수 개의 보관 선반을 포함하고, 상기 복수 개의 보관 선반의 각각은 컨테이너를 지지하기 위한 선반 요부를 갖는 선반 플레이트를 갖는다. 상기 복수 개의 보관 선반의 각각은 수평적 이동이 가능하도록 체인에 결합되며 하나 이상의 위치로 안내가 가능하도록 레일에 더 결합된다. 모터는 체인을 이동시키기 위한 구동 스프로킷에 결합되어, 상기 복수 개의 보관 선반의 각각은 하나 이상의 위치로 상기 레일을 따라 함께 이동한다. 상기 레일은 선형인 적어도 일부의 섹션 및 비선형인 일부의 섹션을 갖고, 상기 섹션은 루프에 배열된다.

    A storage system and methods for operating a storage system are disclosed. The storage system includes a storage system assembly positioned at a height that is greater than a height of a tool used for loading and unloading substrates to be processed. The storage system locally stores one or more containers of substrates. The storage system assembly includes a plurality of storage shelves, and each of the plurality of storage shelves have shelf plates with shelf features for supporting a container. Each of the plurality of storage shelves are coupled to a chain to enable horizontal movement and each is further coupled to a rail to enable guiding to one or more positions. A motor is coupled to a drive sprocket for moving the chain, such that each of the plurality of storage shelves move together along the rail to the one or more positions. The rail has at least some sections that are linear and some sections that are nonlinear and the sections are arranged in a loop.


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    Title :

    SUBSTRATE CONTAINER STORAGE SYSTEM


    Additional title:

    기판 컨테이너 보관 시스템


    Publication date :

    2017-03-14


    Type of media :

    Patent


    Type of material :

    Electronic Resource


    Language :

    Korean


    Classification :

    IPC:    H01L Halbleiterbauelemente , SEMICONDUCTOR DEVICES / B65G TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS , Transport- oder Lagervorrichtungen, z.B. Förderer zum Laden oder Abladen / B66C Krane , CRANES



    SUBSTRATE CONTAINER STORAGE SYSTEM

    BONORA ANTHONY C / GOULD RICHARD H / KROLAK MICHAEL | European Patent Office | 2022

    Free access


    INTEGRATED SYSTEMS FOR INTERFACING WITH SUBSTRATE CONTAINER STORAGE SYSTEM

    BONORA ANTHONY C / GOULD RICHARD H / KROLAK MICHAEL | European Patent Office | 2017

    Free access


    Container storage system

    FENG YIYUAN / WAN ZHONG / YU LONGCHAO et al. | European Patent Office | 2024

    Free access