보관 시스템 및 보관 시스템을 작동시키기 위한 방법이 개시된다. 상기 보관 시스템은 가공될 기판을 로딩하고 언로딩하는데 사용되는 장비의 높이보다 더 높은 위치에 배치되는 보관 시스템 어셈블리를 포함한다. 상기 보관 시스템은 기판의 하나 이상의 컨테이너를 국부적으로 보관한다. 상기 보관 시스템 어셈블리는 복수 개의 보관 선반을 포함하고, 상기 복수 개의 보관 선반의 각각은 컨테이너를 지지하기 위한 선반 요부를 갖는 선반 플레이트를 갖는다. 상기 복수 개의 보관 선반의 각각은 수평적 이동이 가능하도록 체인에 결합되며 하나 이상의 위치로 안내가 가능하도록 레일에 더 결합된다. 모터는 체인을 이동시키기 위한 구동 스프로킷에 결합되어, 상기 복수 개의 보관 선반의 각각은 하나 이상의 위치로 상기 레일을 따라 함께 이동한다. 상기 레일은 선형인 적어도 일부의 섹션 및 비선형인 일부의 섹션을 갖고, 상기 섹션은 루프에 배열된다. 상기 보관 시스템의 예시적인 구성은 정지 선반, 호이스트용 연장 수평 트랙, 상기 보관 시스템 어셈블리의 레벨에서의 컨베이어, 및 수동 로딩 스테이션 중 하나 이상을 포함할 수 있다. 그러므로, 상기 연장 수평 트랙을 갖는 호이스트는 수동 로딩 스테이션과 연결할 수 있다.
INTEGRATED SYSTEMS FOR INTERFACING WITH SUBSTRATE CONTAINER STORAGE SYSTEM
기판 컨테이너 보관 시스템과 연결하기 위한 일체형 시스템
2017-07-06
Patent
Electronic Resource
Korean
INTEGRATED SYSTEMS FOR INTERFACING WITH SUBSTRATE CONTAINER STORAGE SYSTEM
European Patent Office | 2017
|INTEGRATED SYSTEMS FOR INTERFACING WITH SUBSTRATE CONTAINER STORAGE SYSTEM
European Patent Office | 2018
INTEGRATED SYSTEMS FOR INTERFACING WITH SUBSTRATE CONTAINER STORAGE SYSTEMS
European Patent Office | 2021
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