Die wirtschaftlich erfolgreiche Anwendung von Sensoren, deren Oberfläche mikromaschinell bearbeitet wurde sind Beschleunigungsmesser für sich automatisch aufblasende Luftpolster (airbags) in Kraftfahrzeugen. Dieser große Einsatzbereich hat zu verschiedenen Entwicklungsrichtungen bei Beschleunigungsmessern in Miniaturbauweise geführt (größere Integration, neue Funktionen). Über 2 neu entwickelte Beschleunigungsmesser mit einem Auflösungsvermögen von 5 Milli-g-Werten und nachfolgender digitaler Signalverarbeitungsschaltung wird in Verbindung mit Prinzipskizzen genauer berichtet. Im einzelnen erläutet wird die mikromaschinelle Oberflächenbearbeitung von SiO2-Schichten (CMOS-Verfahren) sowie die Integration von Mikroprozessor und EPROM auf einem einzigen Sensor-Halbleiterchip. Erläutert wird danach die Leistungsfähigkeit eines 5/-5 g-Beschleunigungsmessers in verrauschter Einsatzumgebung sowie über die zweite, neu entwickelte Meßgeräteausführung mit digitaler Signalverarbeitung. Gezeigt werden abschließend 20 Photos dieser mikromaschinell gefertigten Sensorchips.
Innovations in acceleration sensing using surface micro-machining
Innovationen im Bereich der Beschleunigungsmessung mittels Mikrosystemtechnik
1995
6 Seiten, 2 Bilder
Conference paper
English
Vehicle Overturn Sensing Method using Acceleration Sensor
European Patent Office | 2023
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