Die wirtschaftlich erfolgreiche Anwendung von Sensoren, deren Oberfläche mikromaschinell bearbeitet wurde sind Beschleunigungsmesser für sich automatisch aufblasende Luftpolster (airbags) in Kraftfahrzeugen. Dieser große Einsatzbereich hat zu verschiedenen Entwicklungsrichtungen bei Beschleunigungsmessern in Miniaturbauweise geführt (größere Integration, neue Funktionen). Über 2 neu entwickelte Beschleunigungsmesser mit einem Auflösungsvermögen von 5 Milli-g-Werten und nachfolgender digitaler Signalverarbeitungsschaltung wird in Verbindung mit Prinzipskizzen genauer berichtet. Im einzelnen erläutet wird die mikromaschinelle Oberflächenbearbeitung von SiO2-Schichten (CMOS-Verfahren) sowie die Integration von Mikroprozessor und EPROM auf einem einzigen Sensor-Halbleiterchip. Erläutert wird danach die Leistungsfähigkeit eines 5/-5 g-Beschleunigungsmessers in verrauschter Einsatzumgebung sowie über die zweite, neu entwickelte Meßgeräteausführung mit digitaler Signalverarbeitung. Gezeigt werden abschließend 20 Photos dieser mikromaschinell gefertigten Sensorchips.


    Access

    Access via TIB

    Check availability in my library


    Export, share and cite



    Title :

    Innovations in acceleration sensing using surface micro-machining


    Additional title:

    Innovationen im Bereich der Beschleunigungsmessung mittels Mikrosystemtechnik


    Contributors:
    Doscher, J. (author)


    Publication date :

    1995


    Size :

    6 Seiten, 2 Bilder


    Type of media :

    Conference paper


    Type of material :

    Print


    Language :

    English




    Assessing the Acceleration Sensing in the Flight of a Micro Aerial Vehicle

    Lau, Edwin M. / Chun-Cheng Peng, Gouda / Yeh, Tim Yan-Ting et al. | IEEE | 2022



    16th Machining Innovations Conference for Aerospace Industry, MIC 2016

    Machining Innovations Conference for Aerospace Industry | TIBKAT | 2016

    Free access

    Vehicle Overturn Sensing Method using Acceleration Sensor

    YEO MIN KI / KIM DO HYUN | European Patent Office | 2023

    Free access

    Vehicle Overturn Sensing Method using Acceleration Sensor

    European Patent Office | 2023

    Free access