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    Titel :

    Suppression of Side-Etch and Smoothing of Micro-Needle on Etched Surface by Multistep RIBE



    Kongress:

    8th Annual meeting, LEOS '95 ; 1995 ; San Francisco; CA


    Erschienen in:

    LEOS '95 ; 112-113


    Erscheinungsdatum :

    01.01.1995


    Format / Umfang :

    2 pages


    Anmerkungen:

    IEEE Cat no 95CH35739



    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch




    Measurement of Sidewall Roughness of InP Etched by RIBE

    IEEE; Lasers and Electro-Optics Society | British Library Conference Proceedings | 1994


    Aluminiumschrauben von Ribe

    Ribe,Schwabach,DE | Kraftfahrwesen | 2005


    Aluminiumschrauben von RIBE

    Ruthenberg,R. / RIBE,Schwabach,DE | Kraftfahrwesen | 2004



    RIBE Micro-Fabrication of Semiconductor Photonic Devices for Micro-Photonic Integrated Circuits

    IEEE; Lasers and Electro-Optics Society | British Library Conference Proceedings | 1994