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    Titel :

    Reliability Testing of Polysilicon for MEMS Devices


    Beteiligte:

    Kongress:

    International conference; 2nd, Integrated micro/nanotechnology for space applications ; 1999 ; Pasadena, CA


    Erscheinungsdatum :

    01.01.1999


    Format / Umfang :

    5 pages


    Anmerkungen:

    Also known as MNT99


    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch





    Composite Metal-Polysilicon MEMS Actuators for Flow Control

    Bons, J. P. / Franke, M. E. / Borgeson, D. M. et al. | British Library Conference Proceedings | 2003


    Composite Metal-Polysilicon MEMS Actuators for Flow Control

    Bons, Jeffrey / Franke, Milton / Borgeson, David et al. | AIAA | 2003


    Electrostatically Loaded Polysilicon MEMS Fracture Device with Sharp Crack

    Tayebi, N. / Kahn, H. / Ballarini, R. et al. | British Library Conference Proceedings | 1999


    Low-temperature bonding of thick-film polysilicon for microelectromechanical system (MEMS)

    Luoto, H. / Suni, T. / Kulawski, M. et al. | British Library Online Contents | 2006