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    Titel :

    A Novel High Aspect Ratio Technology for MEMS Fabrication Using Standard Silicon Wafers


    Beteiligte:

    Kongress:

    International conference; 7th, Advanced microsystems for automotive applications ; 2003 ; Berlin



    Erscheinungsdatum :

    01.01.2003


    Format / Umfang :

    8 pages


    Anmerkungen:

    Also known as the 7th AMAA



    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch





    Metrology of high aspect ratio MEMS

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    Sugiyama, S. / Zhang, Y. / Hosaka, M. et al. | British Library Online Contents | 1998


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