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    Titel :

    Manufacturing pinhole arrays for X-ray source diagnostics using LIGA


    Beteiligte:
    Gerner, M. (Autor:in) / Holldack, K. (Autor:in) / Luettge, R. (Autor:in) / Schmidt, M. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 4 , 4 ; 184-186


    Erscheinungsdatum :

    01.01.1998


    Format / Umfang :

    3 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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