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    Titel :

    Analytical modelling and optimization for a laterally-driven polysilicon thermal actuator


    Beteiligte:
    Huang, Q.-A. (Autor:in) / Lee, N. K. S. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 5 , 3 ; 133-137


    Erscheinungsdatum :

    01.01.1999


    Format / Umfang :

    5 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Numerical simulation of a polysilicon thermal flexture actuator

    Kuang, Y. / Huang, Q.-A. / Lee, N. K. | British Library Online Contents | 2002


    Optimization of an electro-thermally and laterally driven microactuator

    Lee, C.-C. / Hsu, W. | British Library Online Contents | 2003




    Thermal Modelling of a Flight-Critical Electrohydrostatic Actuator

    Chen, W.-Z. / Lin, T. / Hill, B. P. et al. | British Library Conference Proceedings | 1995