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    Titel :

    Fabricatio of nanomechanical optical devices with aligned wafer bonding


    Beteiligte:
    Gui, C. (Autor:in) / Veldhuis, G. J. (Autor:in) / Koster, T. M. (Autor:in) / Lambeck, P. V. (Autor:in) / Berenschot, J. W. (Autor:in) / Gardeniers, J. G. E. (Autor:in) / Elwenspoek, M. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 5 , 3 ; 138-143


    Erscheinungsdatum :

    01.01.1999


    Format / Umfang :

    6 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83




    Nonlinear Optical Devices for WDM System Applications Realized by Wafer-Bonding

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    Lukosz, W. | British Library Conference Proceedings | 1996


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    Christiaens, I. / Roelkens, G. / De Mesel, K. et al. | British Library Online Contents | 2005


    Waveguide Optical Isolators Fabricated by Wafer Bonding

    Mizumoto, T. / Yokoi, H. / Materials Research Society. Meeting | British Library Conference Proceedings | 2005