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    Titel :

    Transport limitations on development times of LIGA PMMA resists


    Beteiligte:
    Griffiths, S. K. (Autor:in) / Nilson, R. H. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    01.01.2002


    Format / Umfang :

    8 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Modeling acoustic agitation for enhanced development of PMMA resists

    Nilson, R. H. / Griffiths, S. K. / Ting, A. | British Library Online Contents | 2002



    The influence of mask substrate thickness on exposure and development times for the LIGA process

    Griffiths, S. K. / Ting, A. / Hruby, J. M. | British Library Online Contents | 2000


    Eine andere Liga - Abgasnachbehandlung

    Rosenberger,T. / Kolbenschmidt Pierburg,Neckarsulm,DE | Kraftfahrwesen | 2010


    Materials of LIGA technolgy

    Ehrfeld, W. / Hessel, V. / Loewe, H. et al. | British Library Online Contents | 1999