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    Titel :

    Fibre-optical MEMS switches based on bulk silicon micromachining


    Beteiligte:
    Hoffmann, M. (Autor:in) / Kopka, P. (Autor:in) / Nusse, D. (Autor:in) / Voges, E. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    01.01.2003


    Format / Umfang :

    5 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Micromachining techniques for silicon carbide MEMS

    Zorman, Christian / Rajan, Narayanan / Mehregany, Mehran | AIAA | 1999


    Silicon Bulk Micromachining in Tohoku University

    Minami, K. / Esashi, M. | British Library Online Contents | 1996


    MEMS optical switches

    Li Fan, / Husain, A. / Dobblelaere, P.D. et al. | IEEE | 2001


    Silicon Bulk Micromachining in Tohoku University

    Minami, K. / Esashi, M. / ASME; Aerospace Division | British Library Conference Proceedings | 1996


    MA3 MEMS Optical Switches

    IEEE | British Library Conference Proceedings | 2001