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    Titel :

    Bulk micromachining fabrication platform using the integration of DRIE and wet anisotropic etching


    Beteiligte:
    Chu, H.-Y. (Autor:in) / Fang, W. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 11 , 2/3 ; 141-150


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2005


    Format / Umfang :

    10 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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