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    Titel :

    Fabrication of a ZnO piezoelectric micro cantilever with a high-aspect-ratio nano tip


    Beteiligte:
    Lee, S. H. (Autor:in) / Lee, S. S. (Autor:in) / Choi, J. J. (Autor:in) / Jeon, J. U. (Autor:in) / Ro, K. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 11 , 6 ; 416-423


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2005


    Format / Umfang :

    8 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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