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    Titel :

    Bonded thick film SOI with pre-etched cavities


    Beteiligte:
    Suni, T. (Autor:in) / Henttinen, K. (Autor:in) / Dekker, J. (Autor:in) / Luoto, H. (Autor:in) / Kulawski, M. (Autor:in) / Mäkinen, J. (Autor:in) / Mutikainen, R. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 12 , 5 ; 406-412


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2006


    Format / Umfang :

    7 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Diffusion bonded, high efficiency etched disc filters

    Barnett, John / Otsap, Ben | AIAA | 1999


    AN INTEGRAL DIFFUSION-BONDED, ETCHED DISC FILTER

    Moshirpour, A. / Hoppe, R. / American Institute of Aeronautics and Astronautics et al. | British Library Conference Proceedings | 2000


    An integral diffusion-bonded, etched disc propellant filter

    Moshirpour, Alex / Hoppe, Rick | AIAA | 2000


    System and method for sealing bonded cavities between structural parts

    JOSEPH L HAFENRICHTER / GEORGESON GARY E / PIEHL MARC J | Europäisches Patentamt | 2022

    Freier Zugriff

    Thick-film preamplifier

    Bailey, G. C. | NTRS | 1977