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    Titel :

    Micro structuring of borosilicate glass by high-temperature micro-forming


    Beteiligte:
    Schubert, A. (Autor:in) / Edelmann, J. (Autor:in) / Burkhardt, T. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 12 , 8 ; 790-795


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2006


    Format / Umfang :

    6 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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