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    Titel :

    Manufacturing costs for microsystems/MEMS using high aspect ratio microfabrication techniques


    Beteiligte:
    Lawes, R. A. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    01.01.2007


    Format / Umfang :

    11 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Microsystems for diverse applications using recently developed microfabrication techniques [4179-202]

    Dellmann, L. / Akiyama, T. / Briand, D. et al. | British Library Conference Proceedings | 2000


    Metrology of high aspect ratio MEMS

    Nichols, J. F. / Kurfess, T. R. | British Library Online Contents | 2004


    Micro-ECM for production of microsystems with a high aspect ratio

    Forster, R. / Schoth, A. / Menz, W. | British Library Online Contents | 2005


    Microfabrication of high aspect ratio Bi-Te alloy microposts and applications in micro-sized cooling probes

    Huang, L. / Wang, W. / Murphy, M. | British Library Online Contents | 1999


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