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    Titel :

    SU-8: promising resist for advanced direct LIGA applications for high aspect ratio mechanical microparts


    Beteiligte:
    Kouba, J. (Autor:in) / Engelke, R. (Autor:in) / Bednarzik, M. (Autor:in) / Ahrens, G. (Autor:in) / Scheunemann, H. U. (Autor:in) / Gruetzner, G. (Autor:in) / Loechel, B. (Autor:in) / Miller, H. (Autor:in) / Haase, D. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 13 , 3-4 ; 311-317


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2007


    Format / Umfang :

    7 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Fabrication of photoplastic high-aspect ratio microparts and micromolds using SU-8 UV resist

    Lorenz, H. / Despont, M. / Vettiger, P. et al. | British Library Online Contents | 1998


    Study on fabrication of high aspect ratio MEMS microparts using a compact SR beamline

    Sugiyama, S. / Zhang, Y. / Hosaka, M. et al. | British Library Online Contents | 1998


    High aspect ratio electrostatic micro actuators using LIGA process

    Kondo, R. / Takimoto, S. / Suzuki, K. et al. | British Library Online Contents | 2000


    A new removable resist for high aspect ratio applications

    Schirmer, M. / Perseke, D. / Zena, E. et al. | British Library Online Contents | 2007


    Production issues for high aspect ratio Lobster-eye optics using LIGA

    Peele, A. G. / Vora, K. D. / Shew, B. Y. et al. | British Library Online Contents | 2007