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    Titel :

    Silicon cantilever sensor for micro-/nanoscale dimension and force metrology


    Beteiligte:
    Peiner, E. (Autor:in) / Doering, L. (Autor:in) / Balke, M. (Autor:in) / Christ, A. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 14 , 4-5 ; 441-451


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2008


    Format / Umfang :

    11 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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