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    Titel :

    Characterization of aluminium nitride and aluminium oxide thin films sputter-deposited on organic substrates


    Beteiligte:
    Schmid, U. (Autor:in) / Ababneh, A. (Autor:in) / Seidel, H. (Autor:in) / Wagner, R. (Autor:in) / Bauer, K. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 14 , 4-5 ; 483-490


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2008


    Format / Umfang :

    8 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83