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    Titel :

    Tactile metrology for active microsystems


    Beteiligte:
    Bütefisch, S. (Autor:in) / Brand, U. (Autor:in) / Büttgenbach, S. (Autor:in) / Wilkening, G. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 14 , 12 ; 1933-1939


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2008


    Format / Umfang :

    7 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Interfacing Microsystems with Active Substrates

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    Microsystems engineering

    Lawes,R. / Rutherford Appleton Lab.,GB | Kraftfahrwesen | 1997


    Integrated Microsystems

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    Silicon microsystems

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