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    Titel :

    Novel design of a RF-MEMS tuneable capacitor based on electrostatically induced torsion


    Beteiligte:
    Ture Savadkoohi, P. (Autor:in) / Colpo, S. (Autor:in) / Margesin, B. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 16 , 7 ; 1187-1192


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2010


    Format / Umfang :

    6 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Fabrication and dynamic analysis of the electrostatically actuated MEMS variable capacitor

    Fang, D. M. / Jing, X. M. / Wang, P. H. et al. | British Library Online Contents | 2008


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    Simulation of an Electrostatically Driven MEMS Fuel Pump

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