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    Titel :

    Special issue of the 8th International Workshop on High Aspect Ratio Micro Structure Technology, HARMST 2009


    Beteiligte:
    Achenbach, S. (Autor:in) / Klymyshyn, D. (Autor:in) / Michel, B. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 16 , 8-9 ; 1285


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2010


    Format / Umfang :

    1285 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83




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