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    Titel :

    Miniaturization limits of field-effect based MEMS accelerometers


    Beteiligte:
    Engesser, M. (Autor:in) / Jakovlev, O. (Autor:in) / Franke, A. R. (Autor:in) / Korvink, J. G. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 16 , 11 ; 1861-1868


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2010


    Format / Umfang :

    8 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Miniaturization limits of piezoresistive MEMS accelerometers

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    Oboe, R. | British Library Online Contents | 2002


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    Coumar, Oudea / Poirot, Patrick / Gaillard, Rémi et al. | AIAA | 2004


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