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    Titel :

    Geometric optimization of van der Pauw structure based MEMS pressure sensor


    Beteiligte:
    Mian, A. (Autor:in) / Law, J. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 16 , 11 ; 1921-1929


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2010


    Format / Umfang :

    9 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Characterization of a MEMS Acoustic/Pressure Sensor

    Naguib, A. / Soupos, E. / Nagib, H. et al. | British Library Conference Proceedings | 1999


    Characterization of a MEMS acoustic/pressure sensor

    Nagiub, A. / Soupos, E. / Nagib, H. | AIAA | 1999


    Liquid crystal polymer based MEMS capacitive pressure sensor [5798-30]

    Palasagaram, J. N. / Ramadoss, R. | British Library Conference Proceedings | 2005


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    Liebe, C. C. | NTRS | 2001


    MEMS based Sun sensor

    Liebe, C.C. / Mobasser, S. | IEEE | 2001