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    Titel :

    An experimental analysis of electrostatically vibrated array of polysilicon cantilevers


    Beteiligte:
    Chakraborty, S. (Autor:in) / Swamy, K. B. (Autor:in) / Sen, S. (Autor:in) / Bhattacharyya, T. K. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 16 , 12 ; 2131-2145


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2010


    Format / Umfang :

    15 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Electrostatically Loaded Polysilicon MEMS Fracture Device with Sharp Crack

    Tayebi, N. / Kahn, H. / Ballarini, R. et al. | British Library Conference Proceedings | 1999


    A High Speed Electrostatically Actuated Al-MEMS Micromirror Array

    Mathias, A. / Fox, J. / Temmen, M. et al. | British Library Conference Proceedings | 2011


    A High Speed Electrostatically Actuated Al-MEMS Micromirror Array

    Mathias, Adam / Fox, Jon / Temmen, Mark et al. | AIAA | 2011


    Electrostatically Formed Antennas

    Dennis J. Mihora / Peter J. Redmond | AIAA | 1980


    Design of oscillating cantilevers

    Turner, B.T. | Engineering Index Backfile | 1947