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    Titel :

    Prebreakdown and Breakdown Characteristics of Micrometer Gap in Micro-Electro-Mechanical System Device


    Beteiligte:
    Meng, G. (Autor:in) / Cheng, Y. (Autor:in) / You, X. (Autor:in) / Wu, K. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    01.01.2012


    Format / Umfang :

    5 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Unbekannt


    Klassifikation :

    DDC:    500



    Micro-electro-mechanical control system

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    Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems

    Wu, M. C. / American Society of Civil Engineers | British Library Conference Proceedings | 2000


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