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    Titel :

    Modellbetrachtungen zur vakuumtechnischen Schichtabscheidung für die Lift-off-Technik


    Beteiligte:

    Erscheinungsdatum :

    1991


    Format / Umfang :

    3, 96 Bl


    Anmerkungen:

    30 cm
    Ill., graph. Darst
    Dresden, Techn. Univ., Diss., 1991
    Langzeitarchivierung durch Technische Informationsbibliothek (TIB) / Leibniz-Informationszentrum Technik und Naturwissenschaften und Universitätsbibliothek


    Medientyp :

    Buch


    Format :

    Print


    Sprache :

    Unbekannt