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    Titel :

    REAL TIME, IN-LINE, AND MAPPING SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETRY FOR APPLICATIONS IN CU(IN1-xGAx) SE2 METROLOGY


    Beteiligte:

    Kongress:

    IEEE Photovoltaic Specialists Conference ; 39. ; 2013 ; Tampa, Fla.



    Erscheinungsdatum :

    2013



    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch



    Klassifikation :

    BKL:    52.56 Regenerative Energieformen, alternative Energieformen / 53.36 Energiedirektumwandler, elektrische Energiespeicher




    Feasibility and applicability of integrated metrology using spectroscopic ellipsometry in a cluster tool [4449-10]

    Boher, P. / Piel, J. P. / Stehle, J. L. et al. | British Library Conference Proceedings | 2001




    Imaging ellipsometry for high-spatial-resolution metrology (Invited Paper) [4435-11]

    Zhan, Q. / Leger, J. R. / International Society for Optical Engineering | British Library Conference Proceedings | 2001