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    Titel :

    Skalierfähige Si/SiGe-HBT-Niedertemperaturtechnologie (LOTUS) : Abschlußbericht, Berichtszeitraum: 01.04.94 - 31.03.97


    Weitere Titelangaben:

    Low-temperature ultra-scaled Si/SiGe HBT technology LOTUS



    Erscheinungsdatum :

    1998


    Format / Umfang :

    56 Bl


    Anmerkungen:

    graph. Darst
    Förderkennzeichen BMFT/BMBF 01 M 2419; 415-7291 NT 2419. - Zsfassung in engl. Sprache u.d.T.: Low-temperature ultra-scaled Si/SiGe HBT technology LOTUS
    Langzeitarchivierung durch Technische Informationsbibliothek (TIB) / Leibniz-Informationszentrum Technik und Naturwissenschaften und Universitätsbibliothek


    Medientyp :

    Report


    Format :

    Print


    Sprache :

    Deutsch