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    Titel :

    Hochpräzise Elektronenstrahl-Nanolithographie, Teilprojekt "Prozessintegration" : Abschlussbericht zu FKZ 13N7841 ; Laufzeit: 1.6.2000 bis 31.5.2004


    Beteiligte:
    Elian, Klaus (Autor:in)

    Erscheinungsdatum :

    2004


    Format / Umfang :

    85 Bl


    Anmerkungen:

    Ill., graph. Darst
    Verbund-Nr. 01017856
    Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
    Auch als elektronische Ressource vorh.
    Langzeitarchivierung durch Technische Informationsbibliothek (TIB) / Leibniz-Informationszentrum Technik und Naturwissenschaften und Universitätsbibliothek


    Medientyp :

    Report


    Format :

    Print


    Sprache :

    Deutsch