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    Titel :

    The study of silicon bulk micromachined angular acceleration sensor


    Weitere Titelangaben:

    Untersuchung eines mikrosystemtechnischen Beschleunigungssensors.


    Beteiligte:
    Mizuno,J. (Autor:in) / Nottmeyer,K. (Autor:in) / Amemori,M. (Autor:in) / Kanai,Y. (Autor:in) / Zexel,JP

    Erschienen in:

    JSAE Rev. ; 21 , 1 ; 79-84


    Erscheinungsdatum :

    2000


    Format / Umfang :

    6 pages


    Anmerkungen:

    JSAE Rev.;21(2000)1 ;79-84


    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch




    The study of silicon bulk micromachined angular acceleration sensor

    Mizuno, J. / Nottmeyer, K. / Amemori, M. et al. | Tema Archiv | 2000


    Surface Micromachined Angular Rate Sensor

    Sparks, Douglas R. / Johnson, Jack D. / Zarabadi, Seyed R. | SAE Technical Papers | 1995


    Surface Micromachined Angular Rate Sensor

    Johnson, J. D. / Zarabadi, S. R. / Sparks, D. R. et al. | British Library Conference Proceedings | 1995


    Surface micromachined angular rate sensor

    Johnson,J.D. / Zarabadi,S.R. / Sparks,D.R. et al. | Kraftfahrwesen | 1995