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    Titel :

    Eigenspannungen in der Duennschichttechnik


    Weitere Titelangaben:

    Intrinsic stresses in thinlayer technology.



    Erschienen in:

    Met.-Oberflaeche ; 48 , 7 ; 502-507


    Erscheinungsdatum :

    1994


    Format / Umfang :

    6 pages


    Anmerkungen:

    Met.-Oberflaeche;48(1994)7;502-507


    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Deutsch



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