본 발명은 진공 챔버에 관한 것으로서, 외면에 구성되는 바디와, 상부 챔버와,하부 챔버와,승강 프레임과, 고정 프레임과, 지지부로 구성되어, 상부 챔버는 바디와 탈부착 가능하고, 상기 승강 프레임과 상기 고정 프레임에 레일이 구비되며, 상기 지지부에 롤러와, 실린더와 보수용 스톱퍼가 구비된다. 이와 같은 구조로 인하여 정밀스테이지 장착이 용이하고 점검, 보수 및 유지가 편리한 효과가 있다.
Vacuum Chamber using lifting apparatus
리프팅 장치를 사용하는 진공 챔버
10.11.2016
Patent
Elektronische Ressource
Koreanisch
IPC: | B64G Raumfahrt , COSMONAUTICS |
VACUUM CHAMBER AND PLANT COMPRISING SAID VACUUM CHAMBER
Europäisches Patentamt | 2017
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