Seit der erstmaligen Veröffentlichung über den piezoresistiven Effekt in den Halbleitern Germanium und Silizium im Jahre 1954 bis zur heutigen Präzision und industriellen Fertigung sowie Anwendung haben die piezoresistiven Wandler und Sensoren eine wissenschaftlich-praktische sehr interessante Entwicklung genommen. Mit der Entstehung der Mikrosystemtechnik ist aus der seinerzeit erstmaligen Verwendung piezoresistiver Wandler als Silizium-Dehnmessstreifen über die Integration in drucksensitive Halbleiterverformungskörper bis heute eine ganze Sensorklasse entstanden, die als Beschleunigungs-, Feuchte- oder chemische Sensoren, zur Messung mikromechanischer Belastungen oder in Rastermikroskopen Einsatz finden. Viele internationale Firmen und Forschungseinrichtungen haben an der Vervollkommnung der piezoresistiven Sensortechnik und ihrem industriellen Einsatz teilgenommen.


    Zugriff

    Zugriff über TIB

    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

    Bestellung bei Subito €


    Exportieren, teilen und zitieren



    Titel :

    50 Jahre Entdeckung des piezoresistiven Effekts - Geschichte und Entwicklung piezoresistiver Sensoren



    Erschienen in:

    tm - Technisches Messen ; 72 , 2 ; 53-76


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2005


    Format / Umfang :

    24 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Deutsch




    Druckmessung mit piezoresistiven Sensoren

    Ullrich,A. / ETO Sensoric,Nuernberg,DE | Kraftfahrwesen | 2006



    Neuer piezoresistiver Hochdrucksensor

    Kistler Instrumente,Ostfildern,DE | Kraftfahrwesen | 1991