Mit Nanomessmaschinen können räumliche 3D-Messungen im Nanometerbereich vorgenommen werden. Nanopositioniergeräte ermöglichen entsprechend präzise Abtastungen und Positionierungen für den Einsatz in der Mess- und Fertigungstechnik. Für die weitere Verwendbarkeit entsprechender Messergebnisse ist die Ermittlung der Messunsicherheit erforderlich. Der im Beitrag beschriebene vektorielle Modellansatz ermöglicht die Modularisierung der Messunsicherheitsermittlung in Untermodelle und somit auch die Variation bzw. Erweiterung des Modells sowie die Berücksichtigung von Kopplungseffekten in Richtung der verschiedenen Raumachsen. Sowohl Berechnungen nach GUM (guide to the expression of uncertainty in measurement) als auch nach der Monte-Carlo-Methode ergeben gleiche Messunsicherheitsbudgets. Somit kann verfügbare kommerzielle Software zur effektiven Ermittlung der Messunsicherheit nach diesem Modell eingesetzt werden.
Messunsicherheitsanalyse von Nanopositionier- und Nanomessmaschinen mit Hilfe eines neuen vektoriellen Modellansatze
Analysis of the measurement uncertainties of nanopositioning and nanomeasuring machines (NPM-machines) by means of a new vectorial model approach
tm - Technisches Messen ; 73 , 9 ; 465-471
01.01.2006
7 pages
Aufsatz (Zeitschrift)
Deutsch
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