Contamination reduced in modified growth system. In Silicon-ribbongrowth apparatus, capillary filament guides are integral parts of crucible, extending from bottom to top of melt. Addition of guides expected to result in better thermal control of growth process and higher silicon purity.


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    Titel :

    Filament Guides for Silicon-Ribbon Growth


    Beteiligte:

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    01.10.1985



    Medientyp :

    Sonstige


    Format :

    Keine Angabe


    Sprache :

    Englisch


    Schlagwörter :



    Sublid Speeds Growth Of Silicon Ribbon

    Seidensticker, R. G. / Mchugh, J. P. | NTRS | 1988


    Numerical Simulation Of Silicon-Ribbon Growth

    Woda, Ben K. / Kuo, Chin-Po / Utku, Senol et al. | NTRS | 1987